油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，igx100m干式真空泵维修，使主要返流大---低。

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通常扩散泵的性能是以---真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.---真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，igx100m干式真空泵维修，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大---，---真空可达到---的压强。油扩散泵工作压力范围是10-1~10-6pa，起始压力正好是机械泵的---压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10-1pa后才能开始工作。

2.大反压强

大反压强是指扩散泵所允许的前置压---值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强，则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因

扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用进行擦洗，igx100m干式真空泵，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。

在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好大门，数分钟后，观察真空度，同时检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

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